手持式光谱仪，即手持式X荧光光谱分析仪，使用的X荧光技术，能做无损检测，制备平整、光洁的检测面，有利于测试，但不利于手持式光谱仪的原位、现场快速检测等优势。然而，但是试样的状态也直接影响着手持式光谱仪最后的检测结果。

金属材料表面被氧化或锈蚀与否，与材料的材质、热处理状态、表面状态、环境、时间等有关。高铬镍不锈钢表面生成致密氧化薄膜，阻止了氧化反应向纵深发展，即使表面未抛光，也不明显影响测试；碳钢、铸铁、部分合金钢表面被氧化，即使其表面未见锈迹，也会干扰测试；轻有色金属活泼，易被氧化，重有色金属化学稳定性较好。

手持式光谱仪直接测试不断自然氧化的中、低合金钢表面以及已产生浮锈的表面，Mn含量升高，而Cr、V含量降低，测试清除浮锈后的密实锈层，Cr、Mo、v含量往往会明显升高；正火+回火等强制氧化中、低合金钢，会生成氧化皮，氧化皮外表面无Cr、V，而氧化皮内表面Cr、Mo、V、Nb含量成倍升高，剥去氧化皮的试样外表面，Cr、 Mo、v含量也明显升高。试验表明，氧化或锈蚀是影响检测结果的主要因素，而渗氮等表面处理未明显影响测试。

根据材料被氧化或锈蚀程度以及后续精度要求，可选用角向抛光机、锉刀、砂布、（金相）砂纸、刮刀等处理至本体，作为检测面；也可选用化学法处理。处理金属材料表面至本体后，一般都会随即检测，手工及机械加工过的表面，1天内检测为宜，部分合金钢放置较长时间，如KI2F54B合金钢30天后检测，也未见明显影响。